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【無錫冠亞】晶圓冷卻腔體測溫裝置 單晶硅冷卻循環(huán)裝置，冠亞制冷的半導(dǎo)體控溫chiller主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱，半導(dǎo)體控溫chiller循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵，經(jīng)過24小時連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)。

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